Wir benötigen Ihre Einwilligung zur Verwendung der einzelnen Daten, damit Sie unter anderem Informationen zu Ihren Interessen einsehen können. Klicken Sie auf "OK", um Ihre Zustimmung zu erteilen.
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Mikroelektrogeräte - Teil 2: Prüfverfahren Stärke der Dünnschichtmaterialien. (Nur in Englisch, ist der Text Teil einer Kopie).
NORM herausgegeben am 1.5.2007
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-2
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 78594
Ausgabedatum normen: 1.5.2007
SKU: NS-161584
Zahl der Seiten: 32
Gewicht ca.: 96 g (0.21 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek.
Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům.
Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC
1.12.2000
1.5.2011
1.1.2012
1.6.2007
1.6.2007
UNGÜLTIG
1.4.2007
Letzte Aktualisierung: 2025-03-12 (Zahl der Positionen: 2 232 189)
© Copyright 2025 NORMSERVIS s.r.o.