Die Norm ČSN EN 62047-2 1.5.2007 Ansicht

ČSN EN 62047-2 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials

Automatische name übersetzung:

Halbleiterbauelemente - Mikroelektrogeräte - Teil 2: Prüfverfahren Stärke der Dünnschichtmaterialien. (Nur in Englisch, ist der Text Teil einer Kopie).



NORM herausgegeben am 1.5.2007


Sprache
Realisierung
ZugänglichkeitAUF LAGER
Preis13.80 ohne MWS
13.80

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-2
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 78594
Ausgabedatum normen: 1.5.2007
SKU: NS-161584
Zahl der Seiten: 32
Gewicht ca.: 96 g (0.21 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN

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Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-2 (358775):

Tato mezinárodní norma specifikuje metody zkoušek v tahu tenkovrstvových materiálů o délce a šířce pod 1 mm a tloušťce pod 10 µm, které jsou hlavním materiálem struktury mikroelektromechanických systémů (MEMS), mikrostrojů a podobných součástek.

Hlavní materiály struktur pro MEMS, mikrostroje a podobné součástky se vyznačují typickými rozměry v řádu několika mikrometrů, výrobou materiálů pomocí nanášení a výrobou zkušebních kusů pomocí nemechanického obrábění, které používá leptání a fotolitografii. Tato mezinárodní norma popisuje zkušební metodu, která umožňuje zaručovanou přesnost odpovídající speciálním požadavkům.

Přejímaná EN 62047-2 představuje 3 strany anglického textu a 25 stran anglického a francouzského textu normy IEC

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