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IEC 62047-21-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson´s ratio of thin film MEMS materials
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Geräte - Teil 21: Prüfverfahren für die Querkontraktionszahl von Dünnschicht-MEMS-Materialien <
NORM herausgegeben am 19.6.2014
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: IEC 62047-21-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 19.6.2014
SKU: NS-414107
Zahl der Seiten: 26
Gewicht ca.: 78 g (0.17 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
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Die Annotation des Normtextes IEC 62047-21-ed.1.0 :
IEC 62047-21:2014 specifies the determination of Poissons ratio from the test results obtained by the application of uniaxial and biaxial loads to thin-film micro-electromechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm. LIEC 62047-21:2014 specifie la determination du coefficient de Poisson a partir des resultats obtenus par lapplication dessais de charges uniaxiales et biaxiales aux materiaux pour systemes microelectromecaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) a couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inferieures a 10 mm et les epaisseurs sont inferieures a 10 µm.
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