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Gas cylinders - Gas cylinder valve connections for use in the microelectronics industry - Part 1: Outlet connections (ISO 10692-1:2001)
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NORM herausgegeben am 1.8.2003
Bezeichnung normen: ÖNORM EN ISO 10692-1
Ausgabedatum normen: 1.8.2003
SKU: NS-773203
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Österreichische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ÖNORM
Festgelegt sind die besonderen Anforderungen an Seitenanschlüsse von Gasflaschenventilen für Gase und Gasgemische hinsichtlich Reinheitsgrad und Partikelfreiheit bei der Herstellung von Komponenten für die Mikroelektronik. Weiters sind Bestimmungen hinsichtlich Leckraten für den Betrieb enthalten.
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Letzte Aktualisierung: 2024-09-08 (Zahl der Positionen: 2 346 217)
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