Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions.
NORM herausgegeben am 1.5.2014
Bezeichnung normen: E DIN EN 62047-1:2014-05
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.5.2014
Zahl der Seiten: 59
Gewicht ca.: 177 g (0.39 Pfund)
Land: Deutsche technische Norm
Kategorie: Technische Normen DIN
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 1: Begriffe.