Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
NORM herausgegeben am 1.7.1983
Bezeichnung normen: GOST 25196-82
Ausgabedatum normen: 1.7.1983
Zahl der Seiten: 3
Gewicht ca.: 9 g (0.02 Pfund)
Land: Russische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GOST