GOST R 8.640-2008

State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods

NORM herausgegeben am 1.1.2009

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Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: GOST R 8.640-2008
Ausgabedatum normen: 1.1.2009
Zahl der Seiten: 14
Gewicht ca.: 42 g (0.09 Pfund)
Land: Russische technische Norm
Kategorie: Technische Normen GOST