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ASTM E1438-91(2001)
Standard Guide for Measuring Widths of Interfaces in Sputter Depth Profiling Using SIMS
Automatische name übersetzung:
Standard-Leitfaden zur Messung von Breiten von Interfaces in Sputter Tiefenprofilierung Mit SIMS
NORM herausgegeben am 15.9.1991
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ASTM E1438-91(2001)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 15.9.1991
SKU: NS-41754
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Die Annotation des Normtextes ASTM E1438-91(2001) :
Keywords:
data analysis-spectrochemical, depth resolution, interface width, profile distortion, secondary ion mass spectrometry (SIMS), ICS Number Code 29.045 (Semiconducting materials)
Ergänzende Informationen
| 1. Scope | ||
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1.1 This guide provides the SIMS analyst with a method for determining the width of interfaces from SIMS sputtering data obtained from analyses of layered specimens. This guide does not apply to data obtained from analyses of specimens with thin markers or specimens without interfaces such as ion-implanted specimens. 1.2 This guide does not describe methods for the optimization of interface width or the optimization of depth resolution. 1.3 This standard does not purport to address all of the safety problems, if any, associated with its use. It is the responsibility of the user of this standard to establish appropriate safety and health practices and determine the applicability of regulatory limitations prior to use. |
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| 2. Referenced Documents | ||
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