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Standard Specification for Chromium Sputtering Targets for Thin Film Applications (Withdrawn 2020)
Automatische name übersetzung:
Standard-Spezifikation für Chromium Sputtertargets für Dünnschicht-Anwendungen
NORM herausgegeben am 1.6.2011
Bezeichnung normen: ASTM F1367-98(2011)
Anmerkung: UNGÜLTIG
Ausgabedatum normen: 1.6.2011
SKU: NS-50055
Zahl der Seiten: 2
Gewicht ca.: 6 g (0.01 Pfund)
Land: Amerikanische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ASTM
Keywords:
chromium, sputtering, targets, Chromium electronic materials/applications, Chromium sputtering targets, Electronic materials/applications--specifications, Sputtering process/targets--specifications, Targets, ICS Number Code 25.220.40 (Metallic coatings)
1. Scope | ||
1.1 This specification covers sputtering targets fabricated from chromium metal. 1.2 This specification sets purity grade levels, physical attributes, analytical methods and packaging requirements. 1.3 The values stated in SI units are to be regarded as standard. No other units of measurement are included in this standard. |
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2. Referenced Documents | ||
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Historisch
1.1.2014
Historisch
1.11.2013
Historisch
1.5.2014
Historisch
1.11.2011
Historisch
1.8.2014
Historisch
1.4.2009
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Letzte Aktualisierung: 2024-11-22 (Zahl der Positionen: 2 206 568)
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