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ČSN EN 62047-17 (358775)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Mikroelektrogeräte- Teil 17: Prüfverfahren für die Knick Messung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten. (Nur in Englisch , ist der Textteil des Ausdrucks ).
NORM herausgegeben am 1.9.2015
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-17
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 98268
Ausgabedatum normen: 1.9.2015
SKU: NS-614167
Zahl der Seiten: 36
Gewicht ca.: 108 g (0.24 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
Kategorie - ähnliche Normen:
Semiconductor devices in generalElectromechanical components in general
Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-17 (358775):
Tato norma popisuje metodu pro provádění zkoušek vyboulením vrstvy bez podložky, která je vyboulena přes okénko. Vzorek je vyroben s mikro/nano konstrukčních vrstvových materiálů včetně kovových, keramických a polymerních vrstev, které se používají pro MEMS, mikrostroje a další. Tloušťka vrstvy je v rozsahu od 0,1 µm do 10 µm a šířka obdélníkového a čtvercového okénka a průměr kruhové membrány je v rozsahu od 0,5 mm do 4 mm.
Tyto zkoušky se provádějí při pokojové teplotě, působením rovnoměrně rozloženého tlaku na vzorek zkoušené vrstvy přes okénko.
Touto metodou se může určit modul pružnosti a zbytkové pnutí pro vrstvové materiály
Normansicht ČSN EN 62047-17 (358775)
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