ČSN EN 62047-8 (358775)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films

Automatische name übersetzung:

Halbleiterbauelementen - Mikroelektromechanische Vorrichtungen - Teil 8: Testmethode für die Messung der Durchbiegung der Streifen Zugeigenschaften von dünnen Filmen. (Nur in Englisch, ist der Text Teil einer Kopie).



NORM herausgegeben am 1.12.2011


Sprache
Realisierung
ZugänglichkeitAUF LAGER
Preis13.40 ohne MWS
13.40

Informationen über die Norm:

Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-8
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 89570
Ausgabedatum normen: 1.12.2011
SKU: NS-161591
Zahl der Seiten: 28
Gewicht ca.: 84 g (0.19 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN

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Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-8 (358775):

Tato norma definuje zkušební metodu ohýbání proužku pro měření tahových vlastností tenkých vrstev. Vyznačuje se vysokou přesností, opakovatelností a přiměřenou snahou, aby zkouška byla srovnatelná s konvenční zkouškou. Tato zkušební metoda je platná pro zkoušené vzorky s tloušťkou mezi 50 nm až několika µm a s ohledem na poměr délky a tloušťky větší jak 300.

Proužek (nebo můstek), který je zavěšený mezi dvěma upevněnými podložkami je součástí MEMS, nebo mikrostroje. To umožňuje snadnější výrobu mikroproužku, než vzorků pro normalizovanou zkoušku. Zkušební postupy jsou tak jednoduché, že se dají snadno automatizovat. Tato norma může sloužit pro určování kvality při MEMS ve výrobě, protože průchodnost zkoušky je ve srovnání s klasickou zkouškou vysoká

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