Cookies
Wir benötigen Ihre Einwilligung zur Verwendung der einzelnen Daten, damit Sie unter anderem Informationen zu Ihren Interessen einsehen können. Klicken Sie auf "OK", um Ihre Zustimmung zu erteilen.
IEC 62047-12-ed.1.0
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Mikroelektromechanische Geräte - Teil 12: Biegewechseltestverfahren von Dünnfilmmaterialien mit Resonanzschwingung der MEMS-Strukturen
NORM herausgegeben am 13.9.2011
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: IEC 62047-12-ed.1.0
Ausgabedatum normen: 13.9.2011
SKU: NS-414100
Zahl der Seiten: 59
Gewicht ca.: 177 g (0.39 Pfund)
Land: Internationale technische Norm
Kategorie: Technische Normen IEC
Kategorie - ähnliche Normen:
Die Annotation des Normtextes IEC 62047-12-ed.1.0 :
IEC 62047-12:2011 specifies a method for bending fatigue testing using resonant vibration of microscale mechanical structures of MEMS (micro-electromechanical systems) and micromachines. This standard applies to vibrating structures ranging in size from 10 µm to 1 000 µm in the plane direction and from 1 µm to 100 µm in thickness, and test materials measuring under 1 mm in length, under 1 mm in width, and between 0,1 µm and 10 µm in thickness. The main structural materials for MEMS, micromachine, etc. have special features, such as typical dimensions of a few microns, material fabrication by deposition, and test piece fabrication by means of non-mechanical machining, including photolithography. The MEMS structures often have higher fundamental resonant frequency and higher strength than macro structures. To evaluate and assure the lifetime of MEMS structures, a fatigue testing method with ultra high cycles (up to 1012) loadings needs to be established. The object of the test method is to evaluate the mechanical fatigue properties of microscale materials in a short time by applying high load and high cyclic frequency bending stress using resonant vibration. La CEI 62047-12:2011 specifie une methode dessai de fatigue en flexion utilisant les vibrations a la resonance des structures mecaniques a tres petite echelle des systemes microelectromecaniques (MEMS), et des micromachines. La presente norme sapplique aux structures vibrantes dont la taille est dans la gamme allant de 10 µm a 1 000 µm dans le plan et de 1 µm a 100 µm depaisseur, ainsi qua des materiaux dessai mesurant moins de 1 mm de longueur, moins de 1 mm de largeur et entre 0,1 µm et 10 µm depaisseur. Les materiaux de construction principaux pour les systemes microelectromecaniques, les micromachines, etc., comportent des caracteristiques speciales telles que des dimensions typiques de lordre de quelques microns, la fabrication des materiaux par depot et la fabrication deprouvettes dessai par usinage non mecanique, par exemple la photolithographie. Les structures a systemes micro-electromecaniques presentent souvent une frequence de resonance fondamentale et une resistance superieures a celles des macro-structures. Pour evaluer et garantir la duree de vie des structures a systemes microelectromecaniques, on doit etablir une methode dessai de fatigue avec des cycles de charge tres eleves (jusqua 1012). Le but de la methode dessai est devaluer les proprietes de fatigue mecanique des materiaux a tres petite echelle sur une courte duree en appliquant une contrainte de flexion a charge elevee et a haute frequence cyclique en utilisant des vibrations a la resonance.
Ähnliche Normen:
15.8.2006
26.6.2014
19.6.2014
19.6.2014
15.8.2006
21.8.2008
Empfehlungen:
Aktualisierung der technischen Normen
Wollen Sie sich sicher sein, dass Sie nur die gültigen technischen Normen verwenden?
Wir bieten Ihnen eine Lösung, die Ihnen eine Monatsübersicht über die Aktualität der von Ihnen angewandten Normen sicher stellt.
Brauchen Sie mehr Informationen? Sehen Sie sich diese Seite an.
