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ČSN EN 62047-10 (358775)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials
Automatische name übersetzung:
Halbleiterbauelemente - Mikroelektrogeräte - Teil 10: Zerkleinerung mikrosloupku für MEMS-Materialien. (Nur in Englisch, ist der Text Teil einer Kopie).
NORM herausgegeben am 1.3.2012
Informationen über die Norm:
Bezeichnung normen: ČSN EN 62047-10
Zeichen: 358775
Katalog-Nummer: 90140
Ausgabedatum normen: 1.3.2012
SKU: NS-161577
Zahl der Seiten: 24
Gewicht ca.: 72 g (0.16 Pfund)
Land: Tschechische technische Norm
Kategorie: Technische Normen ČSN
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Die Annotation des Normtextes ČSN EN 62047-10 (358775):
Tato část IEC 62047 specifikuje zkušební metodu pro měření tlakových vlastností pomocí tlaku mikrosloupku. Metoda má vysokou přesnost, opakovatelnost a zkušební vzorek je snadno vyrobitelný. Měří se vztah napětí a deformace vzorku působící mimo jeho osu a stanovuje se tlakový modul pružnosti a mez tečení.
Zkušebním přípravkem je válcový sloupek vyrobený z neohebného (velmi tuhého) substrátu určeného pro mikrostrojní technologie. Poměr průměru a výšky sloupku by měl být více jak 3. Tato norma se může použít pro kovové, keramické a polymerní materiály
Zugehörige Korrekturen zu dieser Norm:
ČSN EN 62047-10:2012/Oprava1 (358775)
Korrektur
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Polovodičové součástky - Mikroelektromechanické součástky - Část 10: Zkouška tlakem mikrosloupku pro materiály MEMS. (Norma přebírající anglický originál, vlastní text je součástí výtisku).
Korrektur herausgegeben am 1.7.2012
Ausgewählte Ausführung: Englisch (nur die Titelseite ist in der tschechischen Sprache) - Gedruckt (2.50 EUR)
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Normansicht ČSN EN 62047-10 (358775)
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